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技術(shù)交流
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產(chǎn)品中心
泰龍電子
產(chǎn)品描述
原子層沉積設(shè)備
型號(hào)：TLE-AL200S
參數(shù)：
反應(yīng)室：不銹鋼反應(yīng)腔室，含樣品臺(tái)，高度＜50mm
真空系統(tǒng)：含油泵、真空計(jì)（全量程規(guī)）
氣體流量控制系統(tǒng)：含高精度進(jìn)口流量計(jì)（兩路氮?dú)猓?/p>
控制系統(tǒng)：含硬件控制器、溫度控制器和工藝過(guò)程控制軟件，一鍵停止
操作電腦：預(yù)裝windows系統(tǒng)和工藝過(guò)程控制軟件的筆記本電腦一臺(tái)
前驅(qū)體源輸運(yùn)系統(tǒng)：每路配一套50ml鋼瓶、一個(gè)氣動(dòng)閥和一個(gè)手動(dòng)閥
機(jī)架：鋁型材機(jī)架，噴漆面板
其他：含取樣夾具等標(biāo)準(zhǔn)附件
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